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產地類別 | 國產 |
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橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:MHY-19128
在近代的許多域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此,更加和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數,如:布儒斯角法測介質膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、度、非破壞性測量等優點,因而,橢圓偏振法測量已在光學、半導體、生物、學等諸多域得到廣泛應用。
橢圓偏振測厚儀產品點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有度、靈敏度以及方便測量等點;
光源采用氦氖激光器,率穩定、波長度;
儀器配有生成表、查表以及計算等軟件,方便用戶使用。
規格與主要標:
測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm; 折射率范圍:1-10
測量小示值:≤1nm 入射光波長:632.8nm
光學中心:80mm 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復性度分別為:±1nm和±0.01
主機重量:25kg 入射角連續調節范圍:20°- 90°度為0.05°
成套性:主機、電控系統、計算軟件
外形尺寸:680*390*320mm
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